水過(guò)濾及深度處理系統(tǒng)
電子用純水深度處理
在水處理領(lǐng)域，電子用水是所有應(yīng)用領(lǐng)域要求的場(chǎng)合，根據(jù)不同的產(chǎn)品等級(jí)，水處理的要求也不一樣，其處理流程也不盡相同。
在一般電子工業(yè)，比如PCB行業(yè)，純水主要用于配槽液和沖洗工件，一般要求水質(zhì)電阻率在5-10MΩ左右，一般采用反滲透加上粗混就可以達(dá)到。
在顯示器（包括CRT、液晶和等離子顯示器）和儲(chǔ)存介質(zhì)制造領(lǐng)域，電阻率的要求就提高到15MΩ左右，第二級(jí)精混床就必須要增加。
到了半導(dǎo)體制備時(shí)，18M 的純水則使基本要求，但是越純的水，其電阻率就越不穩(wěn)定，所以脫出CO2氣體的專(zhuān)用分離膜產(chǎn)品被引入系統(tǒng)。
在電阻制造特別是半導(dǎo)體領(lǐng)域，純水水質(zhì)達(dá)到要求，是整廠開(kāi)機(jī)的基本條件，所以那些用于終端過(guò)濾產(chǎn)品的COD析出被控制在PPB等級(jí)，所以這些過(guò)濾產(chǎn)品的要求要遠(yuǎn)高于普通過(guò)濾的要求。
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電子用水過(guò)濾系統(tǒng) |
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應(yīng)用工藝 |
推薦過(guò)濾芯 |
濾芯精度 |
去除雜質(zhì)大小 |
目的 |
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F1.捕捉過(guò)濾 |
PP濾袋 |
5μm |
75%以上的5μm雜質(zhì) |
捕捉雜質(zhì)，保護(hù)F2濾芯，減少濾芯更換頻次 |
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F2.保安過(guò)濾器 |
濾芯 |
5μm |
5um |
保護(hù)反滲透膜 |
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F3.反滲透膜 |
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單只脫鹽率高于99% |
系統(tǒng)95%以上脫除鹽份 |
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F4.保護(hù)過(guò)濾 |
濾芯 絕對(duì)精度濾袋 |
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1、3μm |
防止中間水箱中雜質(zhì)到后續(xù)工藝 |
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F5.捕捉過(guò)濾 |
濾芯 |
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1、3μm |
捕捉樹(shù)脂雜質(zhì) |
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F6.CO2氣體 脫出過(guò)濾 |
中空纖維 |
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CO2氣體去除率≥83.9% |
脫出CO2氣體，保證純電阻率 |
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F7.終端預(yù)過(guò)濾 |
折疊濾芯 |
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0.45、0.22μm |
保護(hù)終端過(guò)濾器 |
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F8.終端預(yù)過(guò)濾 |
折疊濾芯 |
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0.22/0.1/0.03μm |
終端過(guò)濾器 |
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F9.終端預(yù)過(guò)濾 |
折疊濾芯 |
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0.22/0.1/0.03μm |
保護(hù)終端過(guò)濾器 |
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注：水處理的工藝已經(jīng)有多種模式的配置，比如采用中空纖維超濾/微濾取代預(yù)過(guò)濾系統(tǒng)在大型水處理方面已經(jīng)很常見(jiàn)，當(dāng)遇到這些問(wèn)題時(shí)，請(qǐng)咨詢?nèi)A濾環(huán)保技術(shù)部專(zhuān)業(yè)技術(shù)員。 |
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